Dichtheitsprüfgeräte auf Massenflussbasis ermöglichen die Dichtheitsprüfung großvolumiger Prüfteile mit kleinen Leckagen. Typische Prüfteile sind Tanks, Behälter und Kühler.

 
Bei der Massenflussprüfung wird häufig ein kalorimetrischer Massenflusssensor eingesetzt. Der von der internen geregelten Druckluftquelle gelieferte Luftstrom wird in zwei laminare Strömungen aufgeteilt (die Hauptströmung und die Messströmung). Die abgezweigte Messströmung wird an einem Sensor vorbeigeführt. Auf diesem sind zwei beheizte Temperaturfühler aufgebracht. Das an dem Sensor vorbeiströmende Gas überträgt Wärmeenergie von dem einem zu dem anderen Temperaturfühler. Beide Fühler sind beheizt, so dass durch den Transport der Wärmeenergie eine Temperaturdifferenz erzeugt wird. Die Temperaturdifferenz erzeugt eine entsprechende Widerstandsänderung in den temperatursensiblen Fühlern. Die Temperaturdifferenz ist direkt proportional zum Massenfluss. Durch eine Verstärkerschaltung erfolgt die Messwertaufbereitung.

 Der gesamte Messzyklus besteht aus den Phasen Füllen, Stabilisieren, Messen und Entlüften (analog zu den Phasen der Dichtheitsprüfung).

Durch den integrierten Temperatursensor wird eine Temperaturkompensation des Massenflusswertes durchgeführt. Der Massenfluss wird in der Einheit Norm-ml/min angezeigt.

Ein entscheidender Vorteil der Massenflussprüfung gegenüber der Dichtheitsprüfung, bei der der zeitliche Druckabfall gemessen wird, ist die direkte Messung der Leckrate.